direktschreibende Elektronenstrahllithografie

прил.

1) электр. электронолитография с непосредственным формированием изображения на пластине, электронолитография с непосредственным формированием топологического рисунка на пластине

2) микроэл. сканирующая электронолитография, электронолитография с непосредственным формированием топологии на пластине, электронолитография с непосредственным формированием топологии на шаблоне